产品描述

全自动鼻轮设计、全程软件控制 

3A (3 Automatic) 特点设计

鼻轮自动变倍

镜头自动对焦

光源自动控制

全自动黄光蚀刻/线宽量测机

•采用 ARCS 精密光学尺，分辨率为 0.1μm

• 线性精度 X、Y 轴 < 1μm (1+L/200) μm)

• 重复精度 <1 μm

• 搭配 SI-901专业 几何影像量测软件

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