Max-Plus-U自動外觀檢查機

全自動鼻輪設計、全程軟件控制 

3A (3 Automatic) 特點設計

鼻輪自動變倍

鏡頭自動對焦

光源自動控制

全自動黃光蝕刻/線寬量測機

•採用 ARCS 精密光學尺，分辨率為 0.1μm

• 線性精度 X、Y 軸 < 1μm (1+L/200) μm)

• 重複精度 <1 μm

• 搭配 SI-901專業 幾何影像量測軟件