高精度全自動影像量測系統 VMR1515//VMR-3020/VMR-6555/VMR10080/VMR12072
◎ 載物台行程: 150X150×150/300×200×150/650×550×150/1000×800×150/1200×7200× 150mm 可供選擇。
◎ Z 軸高精度量測:使用雷射;重現性 0.5μm
◎ 點、線、弧、圓、橢圓、 pitch 量測及特殊形狀量測模式
◎ 五階段放大倍率 18X-270X或36X-540X或72X-1080X
◎ 2.5× 及 5× 輔助鏡解析至 680×~1,375×
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